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带报警功能的连续自检;
可选配臭氧发射器和臭氧光度计;
石英气相滴定气室,多校准气接口;
高精度瑞士质量流量控制器,大稀释比,响应速度快;
彩屏显示,触屏操作,大容量内存,自动存储历史数据。
稀释气流量范围:0~10SLPM
校正气流量范围:0~100SCCM
流量控制精确度:±1%F.S.
流量控制线性:±0.2%F.S.
流量控制重复性:±0.2%F.S.
稀释气体流量需求:10SLPM@30psi
响应时间:<180s(T98)
环境温度:5℃~40℃
尺寸:178mm×430mm×630mm
重量:14.06kg(基本单元)
电源:200V~240V,50/60Hz,400W
模拟输出:10V、5V、1V、0.1V(可选)
通讯规格:RS232,RS485